[9p-W541-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　ナノ物性評価技術の進展と物性制御

[9p-W541-8] 組成傾斜AlGaN超格子を用いたドーピング技術と紫外LEDへの応用

〇江端 一晃¹、谷保 芳孝¹、熊倉 一英¹ (1.NTT物性基礎研)

キーワード：AlGaN、超格子、LED