[9p-W631-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [9p-W631-4] 局所的電子励起領域へのレーザ光吸収によるガラスの超高速内部加工

〇(M1)宮本 直之¹、伊藤 佑介¹、吉﨑 れいな¹、魏 超然¹、柴田 章広²、長澤 郁夫²、長藤 圭介¹、杉田 直彦¹ (1.東大院工、2.AGC株式会社)

キーワード：ガラス、超短パルスレーザ、連続波レーザ

ガラス材料への内部加工技術がマイクロ流体チップなどにおいて求められている．従来は超短パルスレーザを材料内部に集光することによってガラスを加熱・溶融させるが，本研究では超短パルスレーザが誘起する高電子密度領域に選択的に連続波レーザを照射することによって高速内部加工を試み，既存手法に比べ約数倍の能率を達成した．加工後，試料を側面から観察して溶融領域を評価，温度シミュレーションとの比較考察を行った．