[9p-W834-1~12] 1.6 超音波

△ [9p-W834-6] ScAlN自立薄板を用いた30-40MHz帯振動子

〇(M1)正宗 千明^1,2、唐澤 嶺^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：ScAlN、トランスデューサ