[9p-W935-1~14] 3.8 光計測技術・機器

[9p-W935-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 合成波長光コム２色干渉計によるリアルタイム空気ゆらぎ補正形状計測法の開発

〇生澤 佳久^1,2、中嶋 善晶^1,2、吴 冠豪³、美濃島 薫^1,2 (1.電通大、2.JST,ERATO美濃島知的光シンセサイザ、3.清華大)

キーワード：光コム、測定、干渉

我々は光コム２色干渉計による超高精度な空気屈折率補正法を用いて、形状計測への適用検討を行ってきた。本手法の特徴は、リアルタイムに空気のゆらぎを補正しながら遠隔物体の構造を高精度に計測できる点である。本研究では、２色法と合成波長による絶対距離測定法を組み合わすことで、信号強度が急激に変化する段差形状のような物体に対して、フィードバック制御に依らない高精度な形状計測を可能とし、適用範囲の拡大を行った。