13:00 〜 13:30 [11p-Z03-2] [プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演] 高アスペクトホールエッチングにおけるstriationの発生メカニズム 〇大村 光広1、橋本 惇一1、足立 昂拓1、近藤 祐介1、石川 勝朗1、阿部 淳子1、酒井 伊都子1、林 久貴1、関根 誠2、堀 勝2 (1.キオクシア、2.名大工)