15:45 〜 16:00 △ [11p-Z12-12] Si結晶中の金属不純物の安定性に与える平面応力の影響 〇岩城 浩也1、末岡 浩治2、鳥越 和尚3、小野 敏昭3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.株式会社 SUMCO)