西村智朗

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発表者・著者、共著者

2020年9月11日(金) 09:30 〜 12:00 Z04

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[11a-Z04-1~9] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

11:00 〜 11:15

[11a-Z04-6] GaN基板へのMgのチャネリングイオン注入(Ⅲ)

〇西村智朗¹、池田清治¹、加地徹² (1.法政大、2.名古屋大)