11:00 〜 11:15 [9a-Z18-7] 超短パルスレーザー穴あけの加工速度と品質に及ぼす繰り返しレートとパルス幅の影響 〇吉富 大1、高田 英行1、奈良崎 愛子1、鳥塚 健二1、小林 洋平2 (1.産総研、2.東大物性研)