11:30 〜 11:45 △ [8a-Z11-10] 塗布型・高バリア性PHPS薄膜におけるVUV光焼成プロセスの解明 〇佐々木 樹1、上村 佳歩1、吉田 麗娜2、高橋 辰宏1、硯里 善幸2 (1.山形大院有機材料システム、2.山形大INOEL)