09:15 〜 09:30 [11a-Z27-4] 3次元実装構造を持つX線検出器のアレイ化に向けた超伝導バンプアレイの電気的評価 〇(M2)三友 歩1、仲川 博2、青柳 昌宏2、菊地 克弥2、明連 広昭1、成瀬 雅人1、田井野 徹1 (1.埼玉大院、2.産総研)