15:15 〜 15:30 [9p-Z21-7] GLAD法を適用した反応性スパッタリング法による微絨毛構造化YドープInN膜の作製 鈴木 僚1、〇中山 佳之1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大、2.関東学院大)