10:00 〜 10:15 △ [9a-Z20-5] プラズマ支援分子線堆積法によるフレキシブル基板上へのGZO透明導電膜の形成と評価 (5) 〇(M1)佐藤 陽平1、中田 耕輔1、宮下 周大1、村中 司1、鍋谷 暢一1、松本 俊1 (1.山梨大学工)