16:00 〜 16:15 [9p-Z05-13] プラズマCVDにより作製したSiO:CH微粒子堆積膜における正DCバイアス印加による構造制御及び撥水特性の向上 池田 健太郎1、呉羽 喬介1、〇菅野 匡宏1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大、2.関東学院大)