11:00 〜 11:15 [10a-Z29-10] 原子打ち込みによるTMDドーピング法の開発とそのデバイス応用 〇(M2)村井 雄也1、劉 崢2、入沢 寿史2、宮田 耕充3、北浦 良1 (1.名大理、2.産総研、3.都立大理)