16:15 〜 16:30 [8p-Z26-12] 二段階吸着法を用いたアルミナシリケートの室温原子層堆積とイオン吸着応用 森 義晴1、齋藤 健太郎1、吉田 一樹1、三浦 正範2、鹿又 健作2、有馬 ボシルアハマド1、久保田 繁1、〇廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大有機材料システム)