12:15 〜 12:30 [8a-Z04-15] アンバランスマグネトロンスパッタ装置の構築と ポリカーボネート板への PTFE 撥水性薄膜合成 〇井野 雄太1、大津 康徳1、安永 健2、池上 康之2 (1.佐大理工院、2.佐大海エネ)