12:00 〜 12:15 [8a-Z04-14] RF 低圧テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンの外部パラメータ依存性 〇鈴木 駿1、石井 晃一1、小田 昭紀1、渡邉 泰章2、太田 貴之3、上坂 裕之4 (1.千葉工大、2.イノベーションサイエンス(株)、3.名城大、4.岐阜大)