09:30 〜 09:45 [11a-Z27-5] STJアレイ検出器用テーパー型超伝導TSVの作製と評価 〇石塚 亮1、青柳 昌宏2、美馬 覚3、大谷 知行3、成瀬 雅人1、明連 広昭1、田井野 徹1 (1.埼玉大院、2.産総研、3.理研)