10:15 〜 10:30 [10a-Z04-4] 界面顕微応答法を用いたInAlN-HEMT構造上のショットキー電極の2次元評価 〇内田 昌宏1,2、川角 優斗2、西村 一巳1、渡邉 則之2、塩島 謙次2 (1.NTT-AT、2.福井大院工)