16:30 〜 16:45 △ [11p-Z23-15] 透明導電膜のスパッタリング堆積ダメージの評価 〇金井 皓輝1、西原 達平1、小椋 厚志1,2 (1.明治大理工、2.再生可能エネルギー研究インスティテュート)