16:30 〜 16:45 [10p-Z18-13] Siをベースとしたトポロジカルスプリッタの作製と評価 〇岡田 祥1、雨宮 智宏1,2、各務 響1、西山 伸彦1,2、胡 暁3 (1.東工大院工、2.東工大未来研、3.物材機構)