16:00 〜 16:15 [9p-Z09-12] イオン注入シミュレーションに対する機械学習の適用 〇蜂谷 涼太1、沓掛 健太朗2,3、原田 俊太1,2、田川 美穂1,2、宇治原 徹1,2,4 (1.名大院工、2.名大未来研、3.理研 AIP、4.産総研 GaN-OIL)