16:45 〜 17:00 [11p-Z12-16] シリコン結晶の高感度赤外吸収と赤外欠陥動力学(17)窒素の各種状態、STDと複ピーク 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府立大学)
17:00 〜 17:15 [11p-Z12-17] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩI) 炭素濃度の低減と測定法の進歩:Carbon engineering 〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府立大学)