13:30 〜 13:45
〇布村 正太1、坂田 功1、榊田 創1、古閑 一憲2,3、白谷 正治2 (1.産総研電子光基礎RI、2.九大シス情、3.自然科学研究機構)
布村 正太
発表者・著者、共著者
2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2020年9月11日(金) 13:30 〜 16:15 Z03
13:30 〜 13:45
〇布村 正太1、坂田 功1、榊田 創1、古閑 一憲2,3、白谷 正治2 (1.産総研電子光基礎RI、2.九大シス情、3.自然科学研究機構)