16:45 〜 17:00 △ [10p-Z10-15] マイクロGレベルセンシングのための金錘1軸差動容量型MEMS加速度センサ 〇(M1)内山 晃宏1、市川 崇志1、古賀 達也1、飯田 慎一2、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1、伊藤 浩之1 (1.東工大、2.NTT-AT)