16:00 〜 16:15 [11p-Z03-12] マイクロ波励起水蒸気プラズマにおけるラジカル発光強度分布とレジスト除去速度の面内分布の検討 〇相澤 洸1、櫻井 匡1、石島 達夫1、田中 康規1、中野 裕介1 (1.金沢大自然)