15:00 〜 15:15 △ [10p-Z05-10] 各層でスパッタガスを変えて作製したAl/Ag膜の特性評価 〇大原 優作1、川村 みどり1、木場 隆之1、阿部 良夫1、金 敬鎬1 (1.北見工大)