11:00 〜 11:15 [9a-Z21-10] InPナノワイヤ縦型トンネルFETの作製 〇勝見 悠1,2、蒲生 浩憲1,2、本久 順一1,2、冨岡 克広1,2 (1.北大情報科学院、2.量集センター)