14:00 〜 14:15 [11p-Z28-2] 自己整合プロセスにより作製したカーボンナノチューブ薄膜トランジスタの動作速度評価 〇石丸 紗椰1、鹿嶋 大雅1、片浦 弘道2、大野 雄高1,3 (1.名大工、2.産総研、3.名大未来研)