10:45 〜 11:00 [10a-Z05-9] 基板及びターゲット表面に水蒸気吹き付けした低温スパッタ成膜による酸化ニッケル薄膜の評価 〇片岡 政貴1、阿部 良夫1、川村 みどり1、金 敬鎬1、木場 隆之1 (1.北見工大)