出展者情報
[No.6] (株)アルバック
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住所：〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
Tel：0467-68-4195
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
ULVAC_DCパルス電源_DPGULVAC_ピラニ真空計SWU10-UULVAC_プロセスガスモニタ_QuleeULVAC_リークディテクタ_HeliotULVAC_高真空排気ユニット_DesktopYTPULVAC_真空ポンプ_LS／CR／VDULVAC_分析・評価システム_4機種アルバック九州_スパッタ装置_QAM
スマートフォン対応ピラニ真空計 SWU10-U
真空技術を活用する企業や大学、研究機関などにとって欠かせないのが真空チャンバ内の真空の度合いを測定する真空計です。 だが、これまでの真空計は専用の電源やディスプレイが必要であった。そのため「もっと手軽に真空計測を行いたい」、 「必要な時だけ真空計測ができればよい」、 「初期投資を抑えたい」といったユーザのニーズがありました。 真空装置のトップメーカの1社であるアルバックがこうした声に応えて、スマートフォンの活用というアイデアで開発し、 2019年10月末日にリリースしたのが今回のピラニ真空計「SWU10-U」です。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/transducer-type-g-tran/pirani-vacuum-gauge/smartphone-direct-pirani-gauge/swu10-u.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
プロセスガスモニタ Quleeシリーズ
「誰にでも簡単に取扱いが可能」「立上げ時間の短縮」「リークテストの簡便さ」を求め、使い勝手を焦点に合わせたアルバックのQuleeシリーズは、分析管と一体になっている電源部に操作面や表示部を設け、パソコンを立ち上げることなく測定可能です。また、パソコンを介して詳細なプロセス解析やデータ管理・処理をおこなうこともできます。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/process-gas-monitor/index.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
リークディテクタ Heliot
HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/leak-detector/standalone/heliot900-series/index.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
分析・評価システム UNECS/Alpfa-step/CRTM/Affinix
■高速分光エリプソメータ UNECS:アルバックの高速分光エリプソメータ（UNECSシリーズ）は、薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定します。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置への組み込みが可能なビルトインタイプまで用途に応じた幅広いラインアップを揃えています。 ■触針式プロファイラ Alpha-Step: Alpha-Stepは、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。 ■水晶発振式成膜コントローラCRTM: 水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズは、コンパクトながら基本性能が充実し、コストパフォーマンスに優れたCRTM-6000Gと4元同時蒸着制御機能などハイパフォーマンス満載のCRTM-9200の2機種をラインナップしています。 ■ 分子間相互作用定量QCM装置 Affinix: 8センサー同時・低容量（100μL）測定でパフォーマンスを大幅向上！ 測定必要サンプルを低減することにより、お客様の実験効率向上とランニングコスト低減を達成します。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
真空ポンプ LSシリーズ・CRシリーズ・VDシリーズ
アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。 使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。 どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。 また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-pump/index.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。 また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/high-vacuum-pump/turbo-molecular-pump/desktop-ytp/ytp70a-d.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
DCパルス電源 DPG
D P G - P シリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/dc-pulse-power-generator/index.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
スパッタ装置 QAMシリーズ
豊富なプロセスバリエーションで材料開発の常識を覆す、スパッタ装置QAMシリーズ。第四次産業と呼ばれる大転換期を迎える中、Society5.0の実現に向けて半導体デバイス、電子部品の重要性が飛躍的に高まっています。様々なニーズに対応できる多様性と拡張性をもち、材料開発をキーワードに独自技術であるカソードでご好評いただき、シリーズ累計50台を突破しました。
https://www.ulvac-es.co.jp/products/qam-series/"
E-mail: hiroshi_sugita@ulvac.com
アルバックの真空コンポーネント
「圧倒的、信頼」で貢献するアルバックの電源ソリューション、6つのこだわり
Heリークディテクタ「HELIOT」が世界中で使用されている、その理由
高速分光エリプソメータUNECSのアルバックの独自技術とは？
アルバック 真空コンポーネント プレイリスト
住所：〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500
Tel：0467-68-4195
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ULVAC_DCパルス電源_DPGULVAC_ピラニ真空計SWU10-UULVAC_プロセスガスモニタ_QuleeULVAC_リークディテクタ_HeliotULVAC_高真空排気ユニット_DesktopYTPULVAC_真空ポンプ_LS／CR／VDULVAC_分析・評価システム_4機種アルバック九州_スパッタ装置_QAM
スマートフォン対応ピラニ真空計 SWU10-U
真空技術を活用する企業や大学、研究機関などにとって欠かせないのが真空チャンバ内の真空の度合いを測定する真空計です。 だが、これまでの真空計は専用の電源やディスプレイが必要であった。そのため「もっと手軽に真空計測を行いたい」、 「必要な時だけ真空計測ができればよい」、 「初期投資を抑えたい」といったユーザのニーズがありました。 真空装置のトップメーカの1社であるアルバックがこうした声に応えて、スマートフォンの活用というアイデアで開発し、 2019年10月末日にリリースしたのが今回のピラニ真空計「SWU10-U」です。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/vacuum-gauge/transducer-type-g-tran/pirani-vacuum-gauge/smartphone-direct-pirani-gauge/swu10-u.html"
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プロセスガスモニタ Quleeシリーズ
「誰にでも簡単に取扱いが可能」「立上げ時間の短縮」「リークテストの簡便さ」を求め、使い勝手を焦点に合わせたアルバックのQuleeシリーズは、分析管と一体になっている電源部に操作面や表示部を設け、パソコンを立ち上げることなく測定可能です。また、パソコンを介して詳細なプロセス解析やデータ管理・処理をおこなうこともできます。
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リークディテクタ Heliot
HELIOT900シリーズは排気速度が大きく、利便性にも優れたリークディテクタです。 漏れ検査のあらゆる場面で、常に最高のパフォーマンスをお約束します。
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分析・評価システム UNECS/Alpfa-step/CRTM/Affinix
■高速分光エリプソメータ UNECS:アルバックの高速分光エリプソメータ（UNECSシリーズ）は、薄膜の膜厚や屈折率を高速・高精度に測定します。独特な測定方式を採用し、高速測定とコンパクト化を実現しています。ユニークなポータブルタイプをはじめ、自動ステージタイプや真空環境に対応した装置への組み込みが可能なビルトインタイプまで用途に応じた幅広いラインアップを揃えています。 ■触針式プロファイラ Alpha-Step: Alpha-Stepは、さまざまな試料表面の段差（膜厚）、粗さ、形状を高精度に測定するKLA-Tencor社製の触針式プロファイラーです。 充実した仕様・性能を備えコストパフォーマンスも優れていますので、研究開発から生産まで幅広い用途でお役立ていただけます。 ■水晶発振式成膜コントローラCRTM: 水晶発振式成膜コントローラCRTMシリーズは、コンパクトながら基本性能が充実し、コストパフォーマンスに優れたCRTM-6000Gと4元同時蒸着制御機能などハイパフォーマンス満載のCRTM-9200の2機種をラインナップしています。 ■ 分子間相互作用定量QCM装置 Affinix: 8センサー同時・低容量（100μL）測定でパフォーマンスを大幅向上！ 測定必要サンプルを低減することにより、お客様の実験効率向上とランニングコスト低減を達成します。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/
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真空ポンプ LSシリーズ・CRシリーズ・VDシリーズ
アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。 使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。 どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。 また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。
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E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
ターボ分子ポンプ排気ユニット Desktop YTP
セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した、デスクトップ型の高真空排気ユニットです。 デスクトップでの使用環境に配慮し、動作時の運転音、振動を低減しました。 また、機器操作にはタッチパネルを採用し、分かり易い表示アイコンでシンプル操作が可能です。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/high-vacuum-pump/turbo-molecular-pump/desktop-ytp/ytp70a-d.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
DCパルス電源 DPG
D P G - P シリーズは反応性プロセスで発生するアークに有効な電源です。この電源は、設定した周期で出力電圧を 反転し、ターゲット表面の電荷蓄積を打ち消すことで、歩留り・スループットの向上を実現します。
https://showcase.ulvac.co.jp/ja/products/dc-pulse-power-generator/index.html"
E-mail: mika_shimizu@ulvac.com
スパッタ装置 QAMシリーズ
豊富なプロセスバリエーションで材料開発の常識を覆す、スパッタ装置QAMシリーズ。第四次産業と呼ばれる大転換期を迎える中、Society5.0の実現に向けて半導体デバイス、電子部品の重要性が飛躍的に高まっています。様々なニーズに対応できる多様性と拡張性をもち、材料開発をキーワードに独自技術であるカソードでご好評いただき、シリーズ累計50台を突破しました。
https://www.ulvac-es.co.jp/products/qam-series/"
E-mail: hiroshi_sugita@ulvac.com
アルバックの真空コンポーネント
「圧倒的、信頼」で貢献するアルバックの電源ソリューション、6つのこだわり
Heリークディテクタ「HELIOT」が世界中で使用されている、その理由
高速分光エリプソメータUNECSのアルバックの独自技術とは？
アルバック 真空コンポーネント プレイリスト