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住所：〒541-0042　大阪府大阪市中央区今橋3-3-13　ニッセイ淀屋橋イースト12階
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製品紹介




【耐放射線仕様磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MRシリーズ】


【ターボ分子ポンプ排気システム】
高真空排気に必要な機器をコンパクトにまとめたターボ分子ポンプ排気システム。


【分析・計測用途向けターボ分子ポンプ】
質量分析装置、電子顕微鏡、リークディテクタなどの分析・計量用途向けターボ分子ポンプ。


【極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ　TG-MLシリーズ】
分析用途の基礎技術、超微小空間の測定、リソグラフィに代表される次世代半導体製造プロセスの細微加工などに不可欠な要素である「極低振動」を達成したシリーズです。


【Pd、Pd/Tiコーティングによる大幅な排気性能の向上】
高エネルギー加速器研究機構（KEK）様との共同研究
https://www.osakavacuum.co.jp/case_study/00580.html"



【直結型油回転真空ポンプ（二段式）　VRDシリーズ】
VRDシリーズは、真空ポンプの新たなレベルに到達しました。ポンプの構造によって安全性を生み出し、調整機構によって高い信頼性をもたらします。


【ドライ真空ポンプシリーズ】
https://www.osakavacuum.co.jp/products/#Dry_pump"


［大阪真空］第81回応用物理学会秋季学術講演会　製品紹介