出展者情報
[No.22] サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー
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※事前にメールにてお打合せの内容・ご希望時間をお知らせください。担当からご連絡させていただきます
住所：〒141-0022 東京都品川区東五反田5-23-1 第2五反田不二越ビル
Tel: 03-5420-0431 Fax: 03-5420-0438
https://www.saesgetters.com/
E-mail: saesjapan-cs@saes-group.com
▼カタログ（資料）をダウンロードはこちらから
CAPACITORRポンプシリーCAPACITORR HVポンプシリーズNEXTORRポンプシリーズNEXTORR - STARCELLポンプNEGウェハーモジュール各種ゲッター材機能性ケミカル製品（乾燥剤等）
【CAPACITORRポンプシリーズ】
CapaciTorrポンプは、サエスゲッターズの多孔質性ゲッター合金により、高真空、超高真空での高い吸着能力と、異なる圧力下でも一定した排気速度を実現します。この製品は、従来型多孔質性合金St172を使用したDシリーズと、水素の吸着速度、吸着力が改善された新しいゲッター合金ZAOを使用したZシリーズの2種類がございます。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/真空ポンプ/capacitorr
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【CAPACITORR HVポンプシリーズ】
CapaciTorr HVポンプは、150～200度の高温で稼働させることで、従来のNEGポンプでの実用真空度ではない高真空領域（10-7~10-9 トール）で繰り返し使用することが可能な新しいNEGポンプです。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/真空ポンプ/capacitorr-hv-キャパシトールhv
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【NEXTORRポンプシリーズ】
NexTorrポンプは、従来のCapaciTorrポンプと小型スパッタイオンポンプ（SIP）を融合したユニークなポンプで、NEGポンプでは排気されない不活性ガスや炭化水素も取り除くことができます。こちらもDシリーズ、Zシリーズの他、高真空領域に対応するHVポンプシリーズを取り揃えております。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/真空ポンプ/nextorr
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【NEXTORR - STARCELL】
NexTorrシリーズの新しいモデルとして、サエスのNEGポンプと、実績の高いAgilent社製のStarCellイオンポンプが合体。高い活性ガス排気能力に加え、20L/Sの容量を持つStarCellイオンポンプが不活性ガスの排気に優れた性能を発揮します。
https://www.saesgetters.com/jp/products/nextorr-starcell-ネクストールスターセルポンプ
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【ウェハーモジュール】
従来の、規格フランジに取り付けるNEGポンプとは異なり、チャンバー内部に設置し、実際に真空度の要求されるチャンバー内部に直接設置させるNEGポンプです。成膜装置等でもご活用頂きやすい製品となっております。
"https://www.saesgetters.com/products/zao-wafer-modules"
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【各種ゲッター材】
NEG（非蒸発型ゲッター）材を中心に、各種真空封止デバイスパッケージの内部真空度の維持にご活用いただけます。幅広い製品群の中より、お客様のパッケージ、封止プロセスに対応した製品をご選択いただけます。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/ゲッター
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
【機能性ケミカル製品（乾燥剤等）】
サエスでは、乾燥剤を主とした塗布型のガス吸着材料、ハイバリア接着剤も提供しております。封じきりの金属、樹脂パッケージで内部を低水分状態に保ちたい場合、高い効果を発揮します。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/機能性ケミカル材料
E-mail: Ryo_Okada@saes-group.com
NEXTorr Z100_V1
Saes_Pompe
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【CAPACITORRポンプシリーズ】
CapaciTorrポンプは、サエスゲッターズの多孔質性ゲッター合金により、高真空、超高真空での高い吸着能力と、異なる圧力下でも一定した排気速度を実現します。この製品は、従来型多孔質性合金St172を使用したDシリーズと、水素の吸着速度、吸着力が改善された新しいゲッター合金ZAOを使用したZシリーズの2種類がございます。
https://www.saesgetters.com/jp/products-functions/製品/真空ポンプ/capacitorr
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【CAPACITORR HVポンプシリーズ】
CapaciTorr HVポンプは、150～200度の高温で稼働させることで、従来のNEGポンプでの実用真空度ではない高真空領域（10-7~10-9 トール）で繰り返し使用することが可能な新しいNEGポンプです。
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【NEXTORRポンプシリーズ】
NexTorrポンプは、従来のCapaciTorrポンプと小型スパッタイオンポンプ（SIP）を融合したユニークなポンプで、NEGポンプでは排気されない不活性ガスや炭化水素も取り除くことができます。こちらもDシリーズ、Zシリーズの他、高真空領域に対応するHVポンプシリーズを取り揃えております。
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【NEXTORR - STARCELL】
NexTorrシリーズの新しいモデルとして、サエスのNEGポンプと、実績の高いAgilent社製のStarCellイオンポンプが合体。高い活性ガス排気能力に加え、20L/Sの容量を持つStarCellイオンポンプが不活性ガスの排気に優れた性能を発揮します。
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【ウェハーモジュール】
従来の、規格フランジに取り付けるNEGポンプとは異なり、チャンバー内部に設置し、実際に真空度の要求されるチャンバー内部に直接設置させるNEGポンプです。成膜装置等でもご活用頂きやすい製品となっております。
"https://www.saesgetters.com/products/zao-wafer-modules"
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【各種ゲッター材】
NEG（非蒸発型ゲッター）材を中心に、各種真空封止デバイスパッケージの内部真空度の維持にご活用いただけます。幅広い製品群の中より、お客様のパッケージ、封止プロセスに対応した製品をご選択いただけます。
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【機能性ケミカル製品（乾燥剤等）】
サエスでは、乾燥剤を主とした塗布型のガス吸着材料、ハイバリア接着剤も提供しております。封じきりの金属、樹脂パッケージで内部を低水分状態に保ちたい場合、高い効果を発揮します。
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NEXTorr Z100_V1
Saes_Pompe