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分光エリプソメーター


【　R2　】
RC2® （二重回転補償子型分光エリプソメーター）はこれまでの装置の特徴と革新的な新技術が結びついて開発されました。 RC2はミューラー行列の全16成分を取得できる世界初の分光エリプソメーターです。極めて高度なサンプル、あるいはナノ構造のサンプルなどの特長を解き明かすためにはミューラー行列全成分を測定可能なエリプソメーターが適しています。また、RC2は従来の分光エリプソメーターと比べて得られる情報が多ため、あらゆるサンプルに対応した最も汎用性の高い装置と言えます。RC2よりも高速かつ高精度で幅広い範囲のスペクトルデータを取得できるエリプソメーターはないと言えるでしょう。
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【　IR-VASE　】
J.A.Woollam社は長年の研究開発の末に前モデルIR-VASEを開発し、1998年の発売開始以来赤外領域における主要な薄膜評価装置として世界中に知られることとなりました。それから15年、IR-VASEはアップデートにより、更なる性能の向上を達成しました。装置性能の面では、光路長が従来よりも短くスポットサイズも小さくなったため、より正確で再現性の高いデータが取得できるようになっています。また、反射・透過配置におけるエリプソメトリー測定、光強度測定等ができます。さらに、クライオスタットやヒートステージ等のオプションにより様々な温度での測定も可能です。
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【　iSE　】
iSEは薄膜の成膜過程をリアルタイムでモニタリングするために開発された新しいIn-situ用の分光エリプソメーターです。私たちが培ってきた技術により、ユーザーは膜の光学定数の最適化、0.1nm以下の感度で薄膜成長過程の制御および薄膜の成長速度のモニタリングができます。iSEには次のような特徴があります。他の測定手法と比較してはるかに高い信頼性で膜厚や光学定数を求めることができます。コンパクトなデザインによりあらゆるチャンバーへ設置できます。簡単な操作で薄膜の成長やエッチングの過程をリアルタイムで解析できます。
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