2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

出展者情報

[No.27] (株)スプリード

(株)スプリード

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住所:〒206-0801 東京都稲城市大丸422-1
Tel: 042-379-4655 Fax: 042-379-4656
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E-mail: suga@splead.jp

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研究試作用ALD・CVD装置研究用蒸着装置冷却加熱ステージ付チャンバーシステム小型加熱冷却ステージ付チャンバーシステムHtc社製バルブのご紹介スプリード総合カタログVol.5.3Htc社製真空バルブカタログVol.4Htc Vacuum-valves Catalog 2018-6-500.pdf


【真空バルブ】
真空ゲートバルブ/真空アングルバルブ/コンダクタンスバルブ/圧力コントロールバルブ/リークバルブ/バリアブルリークバルブ
https://www.splead.jp/components/valve/index.html



【真空ビューポート&シャッター】
真空ビューポート(超高真空/高真空)/シールドガラス/RHEEDスクリーン/ビューポートシャッター
https://www.splead.jp/components/viewport/index.html



【導入端子&熱電対・ヒーター】
・真空電流端子(測温端子・同軸端子)/熱電対/真空測ソケットコンタクト/セラミックビーズ・絶縁パーツ/温度調節機器
https://www.splead.jp/components/instrument/index.html



【真空アクセスドア&真空コンポーネント】
真空アクセスドア/超高真空マニピュレーター/回転導入機/トランスファーロッド
https://www.splead.jp/components/uhv/index.html



【チャンバー&クラスターフランジ】
チャンバー(超高真空/高真空)/クラスターフランジ(超高真空/高真空)
hhttps://www.splead.jp/components/chamber/index.html



【真空ポンプ&アクセサリー】
ターボ分子ポンプ/ロータリーポンプ/ドライポンプ/ポンプ部品アクセサリー/ポンプオイル/ポンプ修理/レンタルサービス
https://www.splead.jp/components/pump/index.html



【蒸着源&サンプルステージ・真空用ヒーター】
スパッター/蒸着源/真空用ヒーター/サンプルステージ/スパッタリング電源/パワーサプライ
https://www.splead.jp/components/source/index.html



【真空計&測定検査器】
真空計/膜圧計/質量分析計/直流電源
https://www.splead.jp/components/vacuum/index.html



Htc社製バルブのご紹介