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研究試作用ALD・CVD装置研究用蒸着装置冷却加熱ステージ付チャンバーシステム小型加熱冷却ステージ付チャンバーシステムHtc社製バルブのご紹介スプリード総合カタログVol.5.3Htc社製真空バルブカタログVol.4Htc Vacuum-valves Catalog 2018-6-500.pdf


【真空バルブ】
真空ゲートバルブ/真空アングルバルブ/コンダクタンスバルブ/圧力コントロールバルブ/リークバルブ/バリアブルリークバルブ
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【真空ビューポート＆シャッター】
真空ビューポート（超高真空/高真空）/シールドガラス/RHEEDスクリーン/ビューポートシャッター
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【導入端子＆熱電対・ヒーター】
・真空電流端子（測温端子・同軸端子）/熱電対/真空測ソケットコンタクト/セラミックビーズ・絶縁パーツ/温度調節機器
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【真空アクセスドア＆真空コンポーネント】
真空アクセスドア/超高真空マニピュレーター/回転導入機/トランスファーロッド
https://www.splead.jp/components/uhv/index.html



【チャンバー＆クラスターフランジ】
チャンバー（超高真空/高真空）/クラスターフランジ（超高真空/高真空）
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【真空ポンプ＆アクセサリー】
ターボ分子ポンプ/ロータリーポンプ/ドライポンプ/ポンプ部品アクセサリー/ポンプオイル/ポンプ修理/レンタルサービス
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【蒸着源＆サンプルステージ・真空用ヒーター】
スパッター/蒸着源/真空用ヒーター/サンプルステージ/スパッタリング電源/パワーサプライ
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【真空計＆測定検査器】
真空計/膜圧計/質量分析計/直流電源
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Htc社製バルブのご紹介