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結晶内欠陥検査装置(CP1)カタログSiCエピタキシー及びプロセッシングサービス高エネルギーイオン注入サービスSiCエピタキシー及びプロセッシングサービスDLTS装置及び受託測定サービスTMX Scientific社製熱顕微鏡DLTS装置及び受託測定サービス半極性GaNテンプレート及びLEDCMP加工、及び再生研磨等

SiC関連製品
昇華法で製造される、デバイス量産用の厳しい品質検査をクリアしたSiCウエハの提供や、その他SiC加工サービス、SiCエピウエハ、SiCエピサービス、SiCデバイス試作プロセッシング、高エネルギーイオン注入サービス等を提供しています。

【SiCウエハ】
・SiCrystal社(ドイツ)
取り扱いサイズ：4～6インチ
量産実績、及び高信頼性によって、ローム社のSiCデバイスへの採用を筆頭に多くのメーカーでの採用実績があります。量産規模用と研究開発用のグレードがあるので、使用目的や要求される仕様により選ぶことができます。
・Norstel社(スウェーデン)/ST-micro
取り扱いサイズ：4～6インチ
低転位（極低TSD・低BPD）という特徴があり、デバイスの性能と歩留まり向上に大きく寄与します。
※その他サイズ(～6インチ)の対応も可能です。
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DLTS分析システム及びDLTSとホール効果受託測定サービスなど
DLTS法は、結晶欠陥が作る電子状態（深い準位）を高感度で検出する優れた手法です。
【Phystech社製DLTS測定装置FT1230 HERA-DLTS】
ドイツのDLTS測定装置の専業メーカーである、Phystech社のDLTS測定装置を(FT1230 HERA-DLTS)の販売をしています。
FT-1230とは・・・
競合他社製品に比べて、最も多彩な測定モードを備えており、DLTS測定において最も必要とされる高感度な測定系に加え、種々の特性を有する半導体材料の欠陥評価に対し幅広く対応できる洗練されたソフトウエアを備えた高機能測定装置です。
【DLTS受託測定、及びホール効果受託測定サービス】
弊社ではPhystech社のDLTS測定装置を使用した、半導体材料/デバイス中の欠陥評価に関する受託測定・解析サービスを、長年DLTS法による欠陥評価を経験してきた、経験豊富な専門技術者によって自社にて行っています。それと同時に、半導体材料における基本特性である伝導型(p, n)、キャリア濃度、移動度を測定できるHall効果測定の受託評価・解析サービスも行っています。
【T°Imager熱顕微鏡受託測定サービス】
アメリカのTMX Scientific社へ依頼する、T°Imager熱顕微鏡システムによる半導体材料の特性評価に関する受託評価・解析サービスの提供が可能です。
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(20-21)半極性GaNテンプレート及びLED
独自の成長技術を開発し、積層欠陥のない、高品質の4インチ半極性GaNテンプレートや、LEDエピウエハ等を製造している、アメリカのSaphlux社の商品の提供が可能です。
【半極性GaNテンプレート】
半極性GaNは、グリーンギャップ問題を解決し、高効率な長波長のLEDやLDを生産するために非常に有効です。Saphlux社では革新的な配向制御エピタキシー（OCE）法を用いて、標準的なサファイアウエハの上に半極性GaN材料を選択的に直接成長させています。トレンチエッチングした基板の側壁にGaNのc面を斜めに成長させることで、積層欠陥のない4インチ半極性GaNを作り出すことができ、大量生産も可能となっています。
【半極性GaN-LEDエピウエハ】
半極性GaNテンプレート上に青/緑のLEDエピウエハを提供できます。 半極性LEDの主な利点には波長シフトの削減が可能です。従来の青/緑LEDおよびマイクロLEDの駆動電流を変更しながら、カラーシフトの問題を解決できます。また最近、Saphlux社は新たにNPQD™マイクロLED、NPQD™マイクロLEDアレイ、NPQD™LED商品を追加しました。
【NPQD™(Nano-pores for Quantum Dots)技術とは】
ナノポーラス構造は、量子ドットの自然なホルダーとして機能する為、 内部強力な光散乱効果により、ナノポア内を移動する光の有効な経路を大幅に延長して、変換効率を高めることができます。 一方、窒化ガリウムは熱伝導率が高く、QDの集まりが少ないため、LEDデバイスの全体的な信頼性を大幅に向上させることができます。
NPQD™の利点
・従来のLEDと比較すると、光変換効率は大幅に向上し、生産コストは非常に低く抑えられます。
・ナノポアはGaN層の内部に直接QDを保持する為、 光の有効光路の延長、強い内部散乱効果、色変換効率の向上等の利点があります。
・赤と緑の両方の単色オプションを使用できます。
・お客様のニーズに合わせた、ご希望の色を作成できます
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ガラス欠陥分析・物性測定サービス
ガラスの受託分析や、様々なガラス溶解技術機器を製造を製造するチェコのGlass Service社による、泡分析、欠陥分析、高温粘度測定、比抵抗測定、密度測定、熱伝導率測定、レドックス測定、バッチ最適化試験等の分析、測定サービスの提供が可能です。
【泡分析サービス】
Qマス装置内で泡を切断、泡内のガス組成を定量し、分析結果を得て、泡の原因を特定します。
【欠陥分析】
ガラス製品内に混入した異物を分析し、発生の原因を特定します。
【高温粘度測定】
粘度の程度により、低粘度(Rotation法)、高粘度(Thermo-mechanical法)を使い分け、軟化点やガラス転移点などの操業に関わる各温度を提示します。
【比抵抗測定】

ガラス検体の各温度域における抵抗値を測定します。
【密度測定】
ガラス密度をアルキメデスの原理を応用した比較測定により算出します。
【熱伝導率測定】
専用の試験炉を使用し、実効熱伝導率を測定します。
【レドックス測定】
GlassService社製の専用測定器"RapidoxⅡ"を使用し測定します。
【バッチ最適化試験】
専用の試験炉の中でバッチを溶解し、その挙動を観察することで泡切れの良し悪しや煉瓦との相性を検証します。
試験概要
・耐火物試験：ガラス接触用の異なる材料の比較
・泡切れ試験：バッチの最適化またはいくつかのバッチの比較
・清澄試験：さまざまな圧力または大気中に様々なガスを導入して比較
・泡成長/収縮試験：溶解プロセスを通じた異なる温度と時間で
・その他：顧客の要求に基づいた他の多くの特殊テスト
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