2020年第81回応用物理学会秋季学術講演会

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[No.31] TNSシステムズ(同)

TNSシステムズ(同)

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YAGレーザー薄膜加工システムワイヤーボンダ―IMINA-Sales-Presentation_Aug-2020Zoom式・金属&赤外線・金属顕微鏡パンフレットZOOM金属顕微鏡


YAGレーザー薄膜加工システム / YAG LaserProcessing System
【主要用途】 保護膜、有機薄膜等の除去|金やアルミ等のIC金属配線カット、下層パターンの露出|EBテスタ、プロービング、FIB、SEM、TEM等の前処理(穴あけ加工、前加工およびマーキング等)|FPDの各種欠陥修正、CF突起修正、OC異物突起修正、ITOショート切断等|簡易フォトマスク作成、フォトマスク修正|ダイレクトパターニング、パターン崩れの修正|スポットアニール|電気測定システムへ搭載して不良・故障解析等|マニュアル、セミオートシステムの構築|各種装置への搭載|その他、豊富な用途


プローバおよびプロービング治具 / Probing Uinit


超長作動距離(Long WD)ズーム顕微鏡ユニット / Long WD Zoom Microscope Unit
【最長502mmのワーキングディスタンスを備えたズーム顕微鏡ユニット】 ズーム比 1:12の広視野・長作動距離を持つ高解像度の金属顕微鏡ユニットです。超長作動距離対物レンズを使用することにより、イオンミリング装置等のチャンバを備える装置内部を装置外から試料を低倍率での広視野観察や高倍率での精密観察することが可能です。


ワイヤーボンダー / Wire Bonder
ドイツTPT社は世界で初めて1台でウェッジボンディングとボールボンディングが可能なHBシリーズを開発しました。以来、ユーザーの視点に立ち、小型化また複雑化しているパッケージング技術開発をサポートするために、多彩な機能と操作性に優れたワイヤボンダをご提供しております。
 
Imina : Product Overview


Imina : Particles Manipulation and Sorting with a Micro-Gripper on a Mobile Robot


Imina : Fiber Optic Positioning


Imina : Installation of the miBot nanomanipulators in a SEM