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LICA-MS400 カタログ【応用物理】2020年秋オンライン_STXMeTOFカタログ_v5.pdfフォーカス製品カタログイオンオプティカ製品カタログFTSファイルVSSカタログ(MBE-K)放射光関連設備_1.ファイル(ブロシュアー等)


【可搬型多成分同時リアルタイムガス質量分析装置 (LICA-MS)】
LICA-MS(Laser Ionization compact Analyzer)は、“自動車排ガス中に含まれるVOC”、“シックハウス症候群の原因物質”、化学反応生成物質、呼気、臭い等を発生現場でそのまま測定できる小型リアルタイムガス質量分析器です。本装置では、オリフィスを通して計測対象ガスを真空チャンバーに導入し、紫外線レーザーによるイオン化した後、飛行時間型質量分析計（TOF）により質量分析します。イオン化に紫外線レーザーを用いているため、高効率な同時多成分イオン化が可能であり、また、TOFを用いるため、全質量数をリアルタイムに同時検出、時間による濃度変化に対応できます。環境分析から、反応実験中の生成ガス分析など、幅広い用途にご利用いただけます。
http://www.toyama-jp.com/products/analyzer/lica-ms.html
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com
【キーワード: リアルタイム、TOF、レーザーイオン化、VOC、反応ガス】



【放射光用走査型透過X線顕微鏡(STXM: Scanning Transmission X-ray Microscope)】
放射光用STXMは数10nmという高空間分解能での物質イメージング、元素・化学種・官能基分布の観察が可能なX線分析装置です。 トヤマが放射光ビームライン製造で培った超精密なX線光学系で軟X線を20 – 100nmに集光し、試料の局所的な透過信号を計測します。 集光されたX線に対し試料を2次元走査することで2次元透過像を取得します。さらに分光器で入射X線のエネルギーを掃引することで軟X線吸収スペクトルを取得します。
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com

【飛行時間型電子分光装置 (e-TOF)】
飛行時間型光電子分光装置（electron time-of-flight spectrometer, eTOF）は、広帯域の光電子エネルギー領域が観測できる分析装置です。当社では、低コストな標準型eTOFの製造に加えて、静電レンズ型および磁気ボトル型eTOFの製造にも対応させていただきます。 （１）静電レンズ型eTOFは、印加する静電場の効果により、広いエネルギー領域にわたって光電子収集の許容角を大きく取ることが可能です。このため、静電場を加えない標準型eTOFに比べ、信号強度が二桁ほど向上いたします。 （２）磁気ボトル型eTOFは、光電子の収集効率をより高めたモデルであり（2π Sr立体許容角）、減速静電場を印加することで100 eV以上の高エネルギー領域においても高いエネルギー分解能を維持できます（水の窓領域において計算上のエネルギー分解能は1 eV未満）。これらの広いエネルギー帯域で高い光電子収集効率を持つeTOF装置は、低繰り返し周波数のX 線自由電子レーザー、および、光子数は乏しいが広帯域幅を持つ極端紫外アト秒パルスなどの光源に適しています。
http://www.toyama-en.com/analytical/eTOF_features.html
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com
【キーワード: 光電子、TOF、磁気ボトル、静電レンズ、アト秒レーザー】


【FOCUS製品全般】
フォーカス社は25年以上の歴史を誇る表面分析装置のメーカーです。その取扱い製品は、モーメンタム・マイクロスコープ装置（ＮａｎｏＥＳＣＡ）、各種光電子顕微鏡（ＩＳ－ＰＥＥＭ等）、蒸着源（ＥＦＭシリーズ）、各種紫外光源（ＨＩＳ等）、スピン検出器（ＦＥＲＲＵＭ）、電子スピン分析器（ＥａｓｙＳＰＩＮ）、低加速イオン銃（ＦＤＧ等）です。詳しくは製品カタログをご参照ください。是非、様々な経験を有するフォーカス社の表面分析装置をご検討ください。（株式会社トヤマはドイツのフォーカス社の日本の総代理店です。）
http://www.toyama-jp.com/products/overseas/focus.html
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com


【IONOPTIKA製品全般】
フイオンオプティカ社は2０年以上の歴史を誇るイオンビーム技術を用いた製品のメーカーです。その取扱い製品は、クラスターイオンＴＯＦ－ＳＩＭＳ（クラスターイオンをイオンビームに用いた飛行時間型質量分析装置Ｊ１０５）、各種イオン銃（ガスクラスターイオン銃ＧＣＩＢ１０Ｓ、Ｃ６０イオン銃Ｃ６０－４０、液体金属イオン銃Ａｕ-LMIG等）、極微小領域イオン注入装置です。詳しくは製品カタログをご参照ください。是非、様々な経験を有するイオンオプティカ社のイオンビーム装置をご検討ください。（株式会社トヤマは英国のイオンオプティカ社の日本の総代理店です。）
http://www.toyama-jp.com/products/overseas/ionoptika.html
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com


【新対向ターゲット式スパッタ成膜装置 (NFTS)】
新対向ターゲット式スパッタ（New Facing Targets Sputtering：NFTS）技術は高密度プラズマを箱型空間に拘束すること により、堆積基板への高エネルギー種（反跳粒子、イオン、電子）の衝撃によるダメージを抑制できる原理・構造を特徴とする成膜技術です。 NFTS技術により、これまでのスパッタ技術では困難とされていた低温・低ダメージ で高品質な薄膜を形成することができ、かつ高い生産性を有する成膜技術となっています。NFTS技術により形成される薄膜は従来のスパッタ技術により形成される薄膜と比較し、粒子界面に空隙の少ない緻密な膜を形成することができます。また箱型プラズマ源の開発により、次世代新材料・デバイスの研究開発用の小型実験装置から量産品の大型装置まで幅広く対応することが可能となりました。
https://www.toyama-jp.com/nfts/
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com
キーワード: スパッタ、低ダメージ、FTS


【MBE関連製品】
ＭＢＥ－Ｋ社ではＭＢＥ成膜装置、各種ソースやアクセサリーを幅広く取り扱っております。今回は、ＶＳＳ（バルブド・サルファー・ソース）に関してご紹介させていただきます。全固体電池、トポロジカルインシュレーター等で硫黄（サルファー）が広く用いられるようになってきています。硫黄は蒸気圧が高く、同時にその蒸気成分は硫黄のクラスター分子により形成されています。このような理由によりバルブ機構を備える硫黄のクラッキング（高温で原子状硫黄に分解する。）ソースを成膜に用いるようになってきています。是非、様々な経験を有するＭＢＥ－Ｋ社の硫黄のバルブド・クラッカー・ソース、ＶＳＳをご検討ください。（株式会社トヤマはドイツのＭＢＥ－Ｋ社の日本の総代理店です。）
http://www.toyama-jp.com/products/overseas/mbe-komponenten.html
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com

【放射光関連設備】
シンクロトロン放射光・自由電子レーザー関連分野でも、実験装置や機器の設計・製作、立上げ、そしてアフターサービスまで一貫して自社で責任をもって対応いたします。例えば、硬X線/軟X線分光器、X線集光ミラー、スリット、ビームモニター、高次光除去システム等のビームラインコンポーネント、さらにはこれらを制御するシステム、安全のためのインターロック機構など、その範囲はビームライン全体に渡ります。また、エンドステーションの計測装置も、ポラリメーターや軟X線回折計、光電子顕微鏡（PEEM）、走査型透過X線顕微鏡（STXM）他のシステムを手掛けています。弊社のキーテクノロジーは超高真空技術、精密加工技術、設計・解析技術、精密アライメント技術（現地を含む）、超精密位置決め技術、システム統合技術。これらを活かして、粒子加速器関連、核融合関連の実験装置、半導体・薄膜分野の実験装置、EUVリソグラフィ関連装置などでも実績を積んでおります。これまで国内や海外のお客様のご要望に応えながら身に着けた経験やノウハウに、最新の技術も取り入れて、皆様の最先端科学技術研究開発のサポートをいたします。
http://www.toyama-jp.com/products/
お問い合わせ先: salesdept@toyama-jp.com