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[No.41] MICRONICS JAPAN CO., LTD.
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住所：〒180-8508 東京都武蔵野市吉祥寺本町2-6-8
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705B, MP10A708fT705A-WG7AP-80AAT-200A300AMJC会社案内MJC_2020_Lineup
【マニュアルプローバ（6インチ/8インチ）Model：705B/MP-10A】
マニュアルプローバ（6イン：705Bチ/8インチ:MP-10A）：様々な評価/解析用途に幅広く対応する汎用マニュアルプローバシリーズです。 温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます。簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 安全設計 セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 プローブカードアダプタ、耐高電圧対応、ホットチャック（+40℃～+300℃）、各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせカスタマイズ可能
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/analysis_manual_6_8.html
お問い合わせ先: TE-Sales＠mjc.co.jp
【マニュアルプローバ （8インチ微小電流測定用）Model:708fT】
マニュアルプローバ （8インチ微小電流測定用 Model 708fT）fAレベルの微小電流測定が可能なマニュアルプローバです。 微小電流測定 ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現 簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 安全設計 セーフティロック機構でコンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 サーモチャック（最低-50℃～+200℃ ドライエアパージによる結露防止機構あり）またはホットチャック（+40℃～+200℃）を用いた温度依存特性評価が可能。その他使用目的に合わせたカスタマイズが可能 。多彩なオプション・カスタマイズ対応 サーモチャック（最低 -50℃～＋200℃ ドライエアパージによる結露防止機構あり ）またはホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価に対応 プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能 使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能 。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/low_current_manual_8.html
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【セミオートプローバ （8インチ微小電流測定用）Model:AP-80A】
セミオートプローバ （8インチ微小電流測定用：AP-80A）fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバです。 測定・解析の効率と精度を両立します。 微小電流測定 ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 低雑音・高精度測定を実現 簡易操作 外部自動制御とジョイスティック（移動モード6種類）の手動操作が可能 半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。 主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 キーサイト・テクノロジー B1500A半導体デバイス・アナライザ Desktop EasyEXPERT・Sparkソフトウェア ケースレーインスツルメンツ ACS（測定ソフト）搭載システムおよび測定器 その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/low_current_semi_8.html
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【マニュアルプローバ（12インチ/大型基板）Model 705A-WG7】
マニュアルプローバ（12インチ/大型基板：705A-WG7）12インチまでのウェーハやFPD基板等の解析に幅広く対応する汎用マニュアルプローバです。 簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 広範囲なコンタクトエリア スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保 被測定デバイスをずらす必要がなく、評価作業の効率がアップします。 安全設計 セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能 。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/analysis_manual_12.html
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【パーソナルマニュアルプローバ （2インチ PMP-2/4インチ PMP-4）】
パーソナルマニュアルプローバ （2インチ PMP-2/4インチ PMP-4）コンパクトで、様々な用途に対応するパーソナルマニュアルプローバです。 コンパクト 小径ウェーハ・チップ測定用の小型・軽量設計 設置場所を選ばない、パーソナルユースプローバです。 レイアウトフリーで多様なアプリケーションに対応 ウェーハステージXYZ可動・プローバ内部のレイアウト可変 ステージの移動・固定が自在で、プローブの位置合わせが容易です。 内部レイアウトの変更により、プローブ以外の治具追加も可能で、様々なアプリケーションに対応します。 高精度測定 チャック・ガード・シールドの3重構造により、ノイズ・リークを低減 fAレベル・μVレベルの高精度測定が可能です。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/personal_manual_2.html
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【温度コントローラ ホットチャック/サーモチャック】
デバイスの温度特性評価に、プローバと組み合わせて使用 。Model AT-200A:高温用温度コントローラ Model TC-6C:6インチホットチャック Model TC-8:8インチホットチャック Model TC-80H:8インチローノイズホットチャック +40℃～+300℃の範囲で設定可能 ※ TC-80Hは200℃まで設定可能。Model AT-300A：高低温用温度コントローラ Model HC-80B:8インチローノイズサーモチャック -50℃～+200℃の範囲で設定可能 。簡易操作 液晶タッチパネル画面上で、簡易な操作によるパラメータ設定が可能 GP-IBインターフェース制御で、温度サイクルテスト、シーケンス測定等の自動化も支援、高速・高精度な温度制御 一般的なPID制御と独自制御方式を融合し、迅速かつ高精度な温度制御が可能。高精度測定 熱源制御用にローノイズタイプの直流安定化電源を採用 ノイズを低減し、高精度な測定を実現します。過昇温度プロテクタ・周囲異常温度検出機能等の安全設計 温度暴走による事故や、測定デバイスおよびプローブやプローバの損傷を防止。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/temperature_controller.html
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【プローバ・アクセサリ】
プローバ・アクセサリ：プローバ用のアクセサリ・コンタクト治具です。 アプリケーションにあわせ、各種取り揃えています。 補用品として追加購入も可能です。次のような主な製品をラインナップしています。 プローブカード・精密プロープ針・同軸プローブ針（微小電流、微小抵抗・容量測定用）・マニピュレータ・ 接続用ケーブル類など。特注品・カスタムメードの製品も提供可能です。ご用命下さい。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/accessory.html
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【プローバオプション シールドボックス・プローブカードアダプター・コネクタパネルなど】
プローバオプションとして、シールドボックス・プローブカードアダプター・コネクタパネル・作業台・レーザカッター・防振台・CDDカメラなど提供可能。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/option.html
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住所：〒180-8508 東京都武蔵野市吉祥寺本町2-6-8
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【マニュアルプローバ（6インチ/8インチ）Model：705B/MP-10A】
マニュアルプローバ（6イン：705Bチ/8インチ:MP-10A）：様々な評価/解析用途に幅広く対応する汎用マニュアルプローバシリーズです。 温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます。簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 安全設計 セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 プローブカードアダプタ、耐高電圧対応、ホットチャック（+40℃～+300℃）、各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせカスタマイズ可能
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【マニュアルプローバ （8インチ微小電流測定用）Model:708fT】
マニュアルプローバ （8インチ微小電流測定用 Model 708fT）fAレベルの微小電流測定が可能なマニュアルプローバです。 微小電流測定 ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現 簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 安全設計 セーフティロック機構でコンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 サーモチャック（最低-50℃～+200℃ ドライエアパージによる結露防止機構あり）またはホットチャック（+40℃～+200℃）を用いた温度依存特性評価が可能。その他使用目的に合わせたカスタマイズが可能 。多彩なオプション・カスタマイズ対応 サーモチャック（最低 -50℃～＋200℃ ドライエアパージによる結露防止機構あり ）またはホットチャック（+40℃～＋200℃）を用いた温度依存特性の評価に対応 プローブカードアダプタの使用により、微小電流用プローブカードを搭載可能 使用目的に合わせてカスタマイズ対応可能 。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/low_current_manual_8.html
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【セミオートプローバ （8インチ微小電流測定用）Model:AP-80A】
セミオートプローバ （8インチ微小電流測定用：AP-80A）fAレベルの微小電流測定が可能な高性能セミオートプローバです。 測定・解析の効率と精度を両立します。 微小電流測定 ガード電位技術を活用した構造により、fAレベルの微小電流測定が可能 低雑音・高精度測定を実現 簡易操作 外部自動制御とジョイスティック（移動モード6種類）の手動操作が可能 半自動操作、手動操作とも容易で、測定効率向上に寄与します。 主要な測定器メーカーのシステムおよびソフトウェアに標準対応 キーサイト・テクノロジー B1500A半導体デバイス・アナライザ Desktop EasyEXPERT・Sparkソフトウェア ケースレーインスツルメンツ ACS（測定ソフト）搭載システムおよび測定器 その他の測定器制御、ソフトウェアのカスタム対応可能
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【マニュアルプローバ（12インチ/大型基板）Model 705A-WG7】
マニュアルプローバ（12インチ/大型基板：705A-WG7）12インチまでのウェーハやFPD基板等の解析に幅広く対応する汎用マニュアルプローバです。 簡易操作 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作 短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 広範囲なコンタクトエリア スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保 被測定デバイスをずらす必要がなく、評価作業の効率がアップします。 安全設計 セーフティロック機構により、コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止 デバイスの作り直し、測定のやり直し、プローブメンテナンスなどの無駄を低減します。 カスタマイズ可能 各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に合わせたカスタマイズが可能 。
https://www.mjc.co.jp/products/semiconductor/wafer_prober/analysis_manual_12.html
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【パーソナルマニュアルプローバ （2インチ PMP-2/4インチ PMP-4）】
パーソナルマニュアルプローバ （2インチ PMP-2/4インチ PMP-4）コンパクトで、様々な用途に対応するパーソナルマニュアルプローバです。 コンパクト 小径ウェーハ・チップ測定用の小型・軽量設計 設置場所を選ばない、パーソナルユースプローバです。 レイアウトフリーで多様なアプリケーションに対応 ウェーハステージXYZ可動・プローバ内部のレイアウト可変 ステージの移動・固定が自在で、プローブの位置合わせが容易です。 内部レイアウトの変更により、プローブ以外の治具追加も可能で、様々なアプリケーションに対応します。 高精度測定 チャック・ガード・シールドの3重構造により、ノイズ・リークを低減 fAレベル・μVレベルの高精度測定が可能です。
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【温度コントローラ ホットチャック/サーモチャック】
デバイスの温度特性評価に、プローバと組み合わせて使用 。Model AT-200A:高温用温度コントローラ Model TC-6C:6インチホットチャック Model TC-8:8インチホットチャック Model TC-80H:8インチローノイズホットチャック +40℃～+300℃の範囲で設定可能 ※ TC-80Hは200℃まで設定可能。Model AT-300A：高低温用温度コントローラ Model HC-80B:8インチローノイズサーモチャック -50℃～+200℃の範囲で設定可能 。簡易操作 液晶タッチパネル画面上で、簡易な操作によるパラメータ設定が可能 GP-IBインターフェース制御で、温度サイクルテスト、シーケンス測定等の自動化も支援、高速・高精度な温度制御 一般的なPID制御と独自制御方式を融合し、迅速かつ高精度な温度制御が可能。高精度測定 熱源制御用にローノイズタイプの直流安定化電源を採用 ノイズを低減し、高精度な測定を実現します。過昇温度プロテクタ・周囲異常温度検出機能等の安全設計 温度暴走による事故や、測定デバイスおよびプローブやプローバの損傷を防止。
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【プローバ・アクセサリ】
プローバ・アクセサリ：プローバ用のアクセサリ・コンタクト治具です。 アプリケーションにあわせ、各種取り揃えています。 補用品として追加購入も可能です。次のような主な製品をラインナップしています。 プローブカード・精密プロープ針・同軸プローブ針（微小電流、微小抵抗・容量測定用）・マニピュレータ・ 接続用ケーブル類など。特注品・カスタムメードの製品も提供可能です。ご用命下さい。
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【プローバオプション シールドボックス・プローブカードアダプター・コネクタパネルなど】
プローバオプションとして、シールドボックス・プローブカードアダプター・コネクタパネル・作業台・レーザカッター・防振台・CDDカメラなど提供可能。
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