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[No.49] Leybold Japan Co., Ltd.
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住所：〒222-0033 神奈川県横浜市港北区新横浜3-23-3 新横浜AKビル
Tel: 045-471-3330 Fax: 045-471-3323
https://www.leybold.com/jp/ja/
E-mail: kazuhiro.suzuki@leybold.com
▼カタログ（資料）をダウンロードはこちらから
TURBOVAC i カタログECODRY plus カタログ真空計カタログSCROLLVAC plus カタログPHOENIX カタログ
【ターボ分子ポンプ TURBOVAC iシリーズ】
TURBOVAC iは、クラス最高の排気性能と高い信頼性を備えたターボ分子ポンプです。ポンプダウンタイムを最適化し、常に圧力とガス流量の目標値を達成します。上部側が永久磁石式ベアリング、下部側がオイル交換不要なグリス潤滑式メカニカルボールベアリングのハイブリッドベアリングを採用したことにより、生産性の向上とランニングコストの削減が可能です。
■柔軟なローターとドラックステージ設計により、特有なアプリケーションに適合しやすくなりました。圧縮比も従来品や他社製品に比べて増加しており、より高真空を得ることができます。
■特に軽量ガス（He / Ar / H2）の排気速度が大幅に向上し、最大のパフォーマンスを発揮します。これにより、バックポンプの背圧が大きくなり、バックポンプのサイズダウンが可能です。
■シンプルな支持機構のシャフトシステムにより、騒音や機械的ストレス、振動に敏 感なアプリケーションへの悪影響を低減するポンプ設計が実現しました。
https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/高真空ポンプ/turbovac-1-turbovac-mag-1/
【ドライ真空ポンプ ECODRY plus】
ECODRY plusは、クラストップレベルの静粛性を持つドライポンプです。真空ポンプを使用する環境は常にある程度の雑音に包まれていますが、ECODRY plusはより静かでストレスのない環境を創出する、高性能・低騒音をコンセプトとしたドライポンプです。（ノイズレベル：52dB(A)）
また、クラス最小クラスの振動値により、電子顕微鏡などの最小振動が必要とされるプロセスにも最適です。サイレンサーは排気部に内蔵され、外付け不要、防音カバーも不要です。騒音値は他の同等クラスの約半分です。オイルレスにより、オイルやシールの交換、現地でのメンテナンスは不要です。コンパクトなサイズで、消費電力も少なくて済みます。
https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/ドライ圧縮真空ポンプ/ecodry-plus/
【アクティブ真空計】
測定される様々な圧力レンジに対応しています。使用環境下に合わせ、制御電子機器が内蔵されたアクティブ真空計、単体のセンサーで構成されたパッシブ真空計（外付電源コントローラーが必要）を取り揃えております。
■ピラニセンサーは、従来のフィラメント式からMEMS方式に変わりました。MEMSの採用により、フィラメント方式と比べるとショックベント（急激な大気導入）に強くなり、測定レンジが1桁拡大（従来5*10-4mbar → 5*10-5mbar）しました。また、精度が向上され、従来の50%から25%に改善されました。
■コールドカソードは逆マグネトロン方式により、小型で強固なスチール製で外部放出磁場が低減されました。また、コールドカソードの着火圧力が低い為、測定内部の汚染が最小限になります。
■ピラニセンサーとコールドカソードの混合一体型や、センサーと表示器が一体型（DC電源）のバージョンなども取り揃えています。
■1から3までのチャンネルに対応するアクティブ真空計用コントローラ GRAPHIXもご用意しています。3.5インチタッチパネルディスプレイで簡単に操作することができ、設定や計測データを内部またはUSBを使用して外部メディアにリアルタイムに記録できます。
https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/リーク検知機器、測定および制御/リーク検出機器測定および制御-1/
【スクロール真空ポンプ SCROLLVAC plus】
幅広いアプリケーションに対応する単相（100V、200V兼用）と三相のモデルがあります。7～18m3/hの排気量から適したサイズを選択していただけます。摩耗するシャフトシールがなく、また最新のチップシール技術でメンテナンスインターバルが長いのが特長です（約2年半に1度のチップシール交換）。反応性ガスや化学薬品を排気するアプリケーション用のCバージョンもあります。低騒音でオイルの排出もない、環境に配慮したドライポンプです。
https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/ドライ圧縮真空ポンプ/scrollvac-1/
【ヘリウムリークディテクター PHOENIXシリーズ】
PHOENIXは高い感知精度で素早く漏れを検知することが可能なヘリウムリークディテクターです。立ち上がりが早く、またヘリウムの排気速度が非常に速いためヘリウム検知後のリカバリーが早いのも特徴です。直感的メニュー構造の革新的なタッチスクリーンは10か国語に対応、簡単に操作できます。WiFiアンテナを使用することでタブレットからリモート操作も可能です。
バックポンプを油回転式またはドライポンプから選択できるQuadro、バックポンプのないモジュールタイプのVario、大容量タイプのMagnoの3タイプから選択できます。https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/リーク検知機器、測定および制御/leak-detectors-1/
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Tel: 045-471-3330 Fax: 045-471-3323
https://www.leybold.com/jp/ja/
E-mail: kazuhiro.suzuki@leybold.com
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TURBOVAC i カタログECODRY plus カタログ真空計カタログSCROLLVAC plus カタログPHOENIX カタログ
【ターボ分子ポンプ TURBOVAC iシリーズ】
TURBOVAC iは、クラス最高の排気性能と高い信頼性を備えたターボ分子ポンプです。ポンプダウンタイムを最適化し、常に圧力とガス流量の目標値を達成します。上部側が永久磁石式ベアリング、下部側がオイル交換不要なグリス潤滑式メカニカルボールベアリングのハイブリッドベアリングを採用したことにより、生産性の向上とランニングコストの削減が可能です。
■柔軟なローターとドラックステージ設計により、特有なアプリケーションに適合しやすくなりました。圧縮比も従来品や他社製品に比べて増加しており、より高真空を得ることができます。
■特に軽量ガス（He / Ar / H2）の排気速度が大幅に向上し、最大のパフォーマンスを発揮します。これにより、バックポンプの背圧が大きくなり、バックポンプのサイズダウンが可能です。
■シンプルな支持機構のシャフトシステムにより、騒音や機械的ストレス、振動に敏 感なアプリケーションへの悪影響を低減するポンプ設計が実現しました。
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【ドライ真空ポンプ ECODRY plus】
ECODRY plusは、クラストップレベルの静粛性を持つドライポンプです。真空ポンプを使用する環境は常にある程度の雑音に包まれていますが、ECODRY plusはより静かでストレスのない環境を創出する、高性能・低騒音をコンセプトとしたドライポンプです。（ノイズレベル：52dB(A)）
また、クラス最小クラスの振動値により、電子顕微鏡などの最小振動が必要とされるプロセスにも最適です。サイレンサーは排気部に内蔵され、外付け不要、防音カバーも不要です。騒音値は他の同等クラスの約半分です。オイルレスにより、オイルやシールの交換、現地でのメンテナンスは不要です。コンパクトなサイズで、消費電力も少なくて済みます。
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【アクティブ真空計】
測定される様々な圧力レンジに対応しています。使用環境下に合わせ、制御電子機器が内蔵されたアクティブ真空計、単体のセンサーで構成されたパッシブ真空計（外付電源コントローラーが必要）を取り揃えております。
■ピラニセンサーは、従来のフィラメント式からMEMS方式に変わりました。MEMSの採用により、フィラメント方式と比べるとショックベント（急激な大気導入）に強くなり、測定レンジが1桁拡大（従来5*10-4mbar → 5*10-5mbar）しました。また、精度が向上され、従来の50%から25%に改善されました。
■コールドカソードは逆マグネトロン方式により、小型で強固なスチール製で外部放出磁場が低減されました。また、コールドカソードの着火圧力が低い為、測定内部の汚染が最小限になります。
■ピラニセンサーとコールドカソードの混合一体型や、センサーと表示器が一体型（DC電源）のバージョンなども取り揃えています。
■1から3までのチャンネルに対応するアクティブ真空計用コントローラ GRAPHIXもご用意しています。3.5インチタッチパネルディスプレイで簡単に操作することができ、設定や計測データを内部またはUSBを使用して外部メディアにリアルタイムに記録できます。
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【スクロール真空ポンプ SCROLLVAC plus】
幅広いアプリケーションに対応する単相（100V、200V兼用）と三相のモデルがあります。7～18m3/hの排気量から適したサイズを選択していただけます。摩耗するシャフトシールがなく、また最新のチップシール技術でメンテナンスインターバルが長いのが特長です（約2年半に1度のチップシール交換）。反応性ガスや化学薬品を排気するアプリケーション用のCバージョンもあります。低騒音でオイルの排出もない、環境に配慮したドライポンプです。
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【ヘリウムリークディテクター PHOENIXシリーズ】
PHOENIXは高い感知精度で素早く漏れを検知することが可能なヘリウムリークディテクターです。立ち上がりが早く、またヘリウムの排気速度が非常に速いためヘリウム検知後のリカバリーが早いのも特徴です。直感的メニュー構造の革新的なタッチスクリーンは10か国語に対応、簡単に操作できます。WiFiアンテナを使用することでタブレットからリモート操作も可能です。
バックポンプを油回転式またはドライポンプから選択できるQuadro、バックポンプのないモジュールタイプのVario、大容量タイプのMagnoの3タイプから選択できます。https://www.leybold.com/jp/ja/製品について/リーク検知機器、測定および制御/leak-detectors-1/