[10a-Z01-1~10] Critical Role of Semiconductor Technology: Shaping Auto Industry on "New Normal" Infrastructure and Challenges by Cutting-Edge Researchers

[10a-Z01-5] A variety of semiconductor devices and exposure equipment

〇Naoto OHKAWA¹ (1.Canon Inc.)

Keywords:semiconductor

入社以来、半導体露光装置のソフトウェア開発業務に携わっており、ユーザインタフェースと制御ソフトウェアの開発を中心に行っています。半導体露光装置は非常に高い精度が求められ、高度な技術力が必要です。さらに、多種多様な半導体デバイス製造を実現するために、広範な知識と新たな工夫が必要となってきています。新規装置の立ち上げや新機能の開発、生産性向上への取り組みを通し、私自身が日々感じている「半導体露光装置の魅力」を伝えたいと考えています。