[10a-Z01-1~10] Critical Role of Semiconductor Technology: Shaping Auto Industry on "New Normal" Infrastructure and Challenges by Cutting-Edge Researchers

[10a-Z01-7] An approach to development of semiconductor manufacturing process technologies for upcoming IIoT era.

〇Yoshito Kamaji¹ (1.Hitachi-hightech)

Keywords:semiconductor, IoT, tool diagnosis

大学修士課程では兵庫県立大学高度産業技術研究所にて極端紫外線リソグラフィ（EUV）マスクブランクスにおける欠陥検査技術を研究。2010年に当社に入社し、次世代半導体プロセス向けマイクロ波プラズマエッチング装置の開発に従事。主に、プロセス再現性向上に向けた量産技術開発を担当。2015年から１年間、米国シンシナティ大学へ客員研究員として赴任し、Industorial Internet of Things (IIoT)に向けた予兆保全技術を研究。帰国後、量産性にかかわる多様な技術開発を海外顧客と共に推進中。本公演では、日立ハイテクが進めております、来るIIoT時代に向けた新たな半導体量産技術開発への取り組みについてご紹介させて頂きながら、半導体量産プロセスの開発現場において、今後必要とされるであろう人財について、共に考える時間とさせていただければと思います。