[10a-Z02-1~9] 15.4 III-V族窒化物結晶

[10a-Z02-1] p型コンタクト層にn-ZnOトンネル層を有するAlGaN系pnダイオードの作製及び電気的評価

〇(M2)孫 錚¹、大黒 将也¹、森元 諄¹、田尻 武義¹、内田 和男¹ (1.電通大)

キーワード：AlGaN LED, n-ZnO/p-GaN トンネル接合