[10a-Z03-9~9] 8.7 Plasma Electronics Invited Talk

[10a-Z03-9] [INVITED] Smart Manufacturing for Electronic Devices using Virtual Metrology Technique

〇Shinichi Imai¹ (1.Hitachi High-Tech Solutions)

Keywords:machine learning, smart manufacturing, virtual metrology

本講演では電子デバイスの製造データの活用と機械学習の応用について述べ、具体的な事例としてプラズマ中のパーティクル数の予測やVMを活用した先進的プロセス制御（VM-APC）について紹介する。