[10a-Z05-1~11] 6.4 薄膜新材料

[10a-Z05-6] ITO電極の光学特性がWO₃薄膜のエレクトロクロミック特性へ与える影響

〇安谷内 康弘¹、阿部 良夫¹、川村 みどり¹、金 敬鎬¹、木場 隆之¹ (1.北見工大)

キーワード：エレクトロクロミック

本研究では、異なるシート抵抗の酸化インジウムスズ(ITO)薄膜上に酸化タングステン(WO₃)薄膜を作製し、EC特性は0.01 M H₂SO₄水溶液電解液中で完全に着脱色させた後、UV-VIS-NIR分光光度計を用いて可視光及び近赤外領域における透過スペクトルを測定した。高抵抗ITO薄膜上に成膜したWO₃薄膜は、低抵抗のITO薄膜上に成膜したWO₃薄膜より、近赤外領域において脱色状態で高い透過率を示し、透過率変化幅も若干大きいことが分かった。