[10a-Z14-1~13] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[10a-Z14-3] 深く埋もれた機能界面の元素分析： 全反射中性子線の利用

〇水沢 まり^1,2、桜井 健次²、山﨑 大³、及川 健一³、原田 正英³、伊藤 崇芳¹ (1.CROSS、2.物財機構、3.原子力機構/ -PARCセンター)

キーワード：界面, 中性子, 元素分析

深く埋もれた機能界面に存在する軽元素を分析するため、中性子線を斜入射で照射し中性子と試料との核反応で生じるガンマ線を分析する「全反射中性子線利用ガンマ線分析法」を開発している。今回、J-PARC MLF BL10に小型反射率計設置して実証試験を行った。InPウエハ表面近傍のn-155を起源とするガンマ線を検出することに成功した。今後はこの方法を固液界面に適用し、軽元素イオンの吸着構造解析へ応用する