[10a-Z14-1~13] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

[10a-Z14-6] 広視野 MEMS Lobster eye X線光学系の開発

〇(M2)湯浅 辰哉¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、沼澤 正樹³、伊師 大貴¹、福島 碧都¹、鈴木 光¹、内野 友樹¹、作田 紗恵¹、稲垣 綾太¹、上田 陽功¹、廣本 悠透¹、満田 和久⁴ (1.都立大、2.JAXA 宇宙研、3.理研、4.国立天文台)

キーワード：微小電気機械システム, X線光学系

我々は、MEMS 技術を用いて超軽量X線望遠鏡を開発している。薄い Si 基板に幅 20 µm の微細穴を形成し、その側壁を反射鏡として利用する。これまで開発してきたWolter Ⅰ 型望遠鏡に比べ、原理的に十字の集光像となってしまうが、簡便に広い視野を実現できることから、我々は新たに Lobster eye 光学系の開発に着手した。本講演では、Lobster eye 光学系の制作に関わるプロセスと開発状況について報告する。