[10a-Z20-1~12] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[10a-Z20-1] 電気化学堆積法によるPETフィルム基板上の酸化亜鉛薄膜の作製

〇(M1)勝海 正隆¹、樋口 千夏¹、粕谷 遥平¹、上滝 尚子¹、赤坂 哲也¹ (1.明星大理工)

キーワード：酸化亜鉛, フレキシブル

我々は導電性ITOをコーティングしたPETフィルム上に(0001)方向に強く配向したZnO薄膜を電着法により作製した。このZnO薄膜はフレキシブルな透明電子デバイスへの応用が期待される。我々は、水溶液の濃度、電着時間、および、電流密度といった成長パラメータを変化させて、ZnO薄膜の構造や表面モフォロジーを評価した。