[10a-Z26-1~8] 9.1 誘電材料・誘電体

[10a-Z26-5] 誘電体ナノキューブ集積体の作製法の検討およびその誘電特性

〇上野 慎太郎¹、畠山 朔弥¹、長田 和希¹、藤井 一郎¹、和田 智志¹ (1.山梨大工)

キーワード：誘電材料, 低温プロセス, ソルボサーマル法

我々は誘電材料において、応力による結晶格子歪が誘電特性の向上に繋がった例に着目し、チタン酸バリウム（BaTiO₃、BT）とニオブ酸系のペロブスカイト型化合物のエピタキシャル接合により、接合界面への歪を高密度で導入する材料設計を提案してきた。サイズが均一なBTナノキューブ集積体の作製にあたり、修飾剤を用いないソルボサーマル合成および二液相分離法を提案し、相対密度が低いものの誘電特性の測定が可能な試料を作製するに至った。